质量流量控制器传感器采用微机械加工技术，质量流量控制器实现微小流量测量，质量流量控制器特点是可靠性高、重复性好，压损小，质量流量控制器无可动部件，量程比宽，响应时间较快，测量精度高，无需要温度压力补偿。

    

工作原理：

感热式芯片技术是采用大规模集成电阻的工作，在芯片上，一个微热源及分别处于微热源上下游的温度传感器集成在采用MEMS的特有工艺制作的镂空桥面上，采用这这样的桥式方式制作有利于热传导，使动态响应时间大大提高，当传感器工作时，微热源与环境温度之间保持一定的温差（通常是70℃），在芯片周围形成固定的温度场分布，如果气体是单向流动，则在气道中温度场可用下述公式来计算:

                                  

式中：气体流动方向为ｘ，速度为ｖ，ａ为扩散率。如上图（式）所示，当气体流过芯片时，将会带走热量，通过质量流量qm和电压V的对应关系来计算流体的质量流量。

产品特点：

·产品集成度高，集瞬间流量显示、累计流量显示和信号输出一体，并可实现自动调节、控制阀门

·微流量感热式传感器采用大规模集成电路生产技术和材料加工技术，使流量计的微流量测量灵敏度显著提升

·微小流量气体测量，ml/min级的微流量测控，实现微小流量测量的数字化

·单个芯片的*流量特性的微处理技术，使流量计的量程范围大大提高

·机电一体化优化设计，智能化的数据处理技术，使流量计具有更好的重复性，实现了计量的准确、可靠

·结构的优化，流量计的压力损失达到*小化

·采用国际*新的传感技术，使流量计工作更稳定、可靠

·*零点自校功能，测量更准确

·多种气体实际标定，全量程补偿

·快速响应、数据自动存储，配合上位机可实现网络集中管理

·规格齐全，量程范围宽，可根据用户要求单独标定

·精度等级高，满足用户高精度测量要求

·*的流量计报警功能，使监控更可靠

·操作、设置界面友好、简便，可根据需要自行设定相关参数

·运用行业多，是科研院所、分析仪表行业、半导体行业、光伏行业、玻璃镀膜、石油化工行业微小气体流量控制产品升级换代的*

技术参数：

·测量介质：各种气体（乙炔气和混合气体除外）

·测量管径：DN3，6，8，10

·流量范围：30，60，80，100，300，600，800，1000sccm；10，20，30，50，80，100SLPM             

·流量测量准确度：±1.5%FS；±2.5%FS

·工作温度范围：-25℃-55℃

·工作压力范围：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa

·供电电源：24VDC±10%；

·输出信号：4-20mA，RS485通讯；

·环境温度：-25℃-55℃

·显示位数：瞬时流量为三位，累积流量10位。

外观尺寸：

                    

	L	D	H	G
DN3	74	30	127	G1/8
DN6	74	30	127	G1/4
DN8	90	30	127	G3/8
DN10	130	35	127	G1/2

质量流量控制器实物图：

   

质量流量控制器安装注意事项：

1.质量流量控制器安装时必须注意场合，不能安装于管路有杂质的地方；

2.质量流量控制器安装时应使流量计上的流向标志所示方向与流体流动方向一致；

3.质量流量控制器上游管道应有10D（D为管道内径）的直管段，下游应有5D的后直管；

4.质量流量控制器安装处的管道内应光滑清洁，无突出，流量调节阀应安装在流量计的下游；

5.质量流量控制器水平安装，安装使用中严防漏气。

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